Beschreibung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
- Auftraggeber
- Ruhr-Universität Bochum
- Sitz des Auftraggebers
- Nordrhein-Westfalen · Bochum
- Erfüllungsort
- Nordrhein-Westfalen · Bochum
- Abgabefrist
- —
- Veröffentlicht
- 13. August 2026
- Geschätzter Wert
- 1.024.000 EUR
- Verfahren
- —
- Portal
- oeffentlichevergabe.de · TED · evergabe.nrw.de
CPV-Codes
38000000
Bekanntmachung
Die Original-Bekanntmachung auf dem Portal des Auftraggebers.
Quellehttps://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8&lotId=LOT-0001Vergabeunterlagen
Die Unterlagen dieser Ausschreibung auf dem Portal des Auftraggebers.
Über den Auftraggeber
Ruhr-Universität Bochum hat derzeit 21 offene Ausschreibungen.
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