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FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Beschreibung

Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.

Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Sitz des Auftraggebers
Berlin · Berlin
Erfüllungsort
Berlin
Abgabefrist
—
Veröffentlicht
13. September 2026
Geschätzter Wert
—
Verfahren
—
Portal
oeffentlichevergabe.de · TED · vergabekooperation.berlin

CPV-Codes

42990000

Bekanntmachung

Die Original-Bekanntmachung auf dem Portal des Auftraggebers.

Quellehttps://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=9a80205f-f0b5-4b49-89a8-6cbb54e94cf4&lotId=LOT-0000

Über den Auftraggeber

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik hat derzeit 1 offene Ausschreibung.

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