Beschreibung
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2.
- Auftraggeber
- Friedrich-Schiller-Universität Jena
- Sitz des Auftraggebers
- Thüringen · Jena
- Erfüllungsort
- Thüringen · Jena
- Abgabefrist
- —
- Veröffentlicht
- 13. Juli 2026
- Geschätzter Wert
- —
- Verfahren
- open
- Portal
- oeffentlichevergabe.de
CPV-Codes
Bekanntmachung
Die Original-Bekanntmachung auf dem Portal des Auftraggebers.
Quellehttps://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3cee3fd6-df42-49cb-881c-ae9ed023900f&lotId=LOT-0001Für diese Ausschreibung sind keine Unterlagen verlinkt.
Über den Auftraggeber
Friedrich-Schiller-Universität Jena hat derzeit 9 offene Ausschreibungen.
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