Description
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
- Contracting authority
- Ruhr-Universität Bochum
- Authority's seat
- Nordrhein-Westfalen · Bochum
- Place of performance
- Nordrhein-Westfalen · Bochum
- Submission deadline
- —
- Published
- 13 August 2026
- Estimated value
- 1,024,000 EUR
- Procedure
- —
- Portal
- oeffentlichevergabe.de · TED · evergabe.nrw.de
CPV codes
38000000
Contract notice
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Sourcehttps://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8&lotId=LOT-0001Tender documents
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About the contracting authority
Ruhr-Universität Bochum currently has 21 open tenders.
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