Facet passivation and coating system (HHI-08) - PR1216551-3220-P

1 Facet passivation and coating syste Das ausgeschriebene System ist für die Abscheidung optischer Funktionsbeschichtungen auf optoelektronischen Halbleiterbauelementen vorgesehen, insbesondere für Antireflexbeschichtungen und die Facettenpassivierung von Hochleistungslasern. Bei Hochleistungslasern können Defekte an der Facettenoberfläche zu lokalen Hotspots und thermischen Schäden führen. Herkömmliche Sputterverfahren arbeiten mit vergleichsweise hohen Ionenenergien, was empfindliche Facettenoberflächen beeinträchtigen kann. Die plasmaunterstützte Abscheidung mittels Elektronenzyklotronresonanz (ECR) ermöglicht eine deutliche Reduzierung der Ionenprallenergie durch die Entkopplung der Plasmagenerierung von der Ionenbeschleunigung, was eine schonende und zuverlässige Beschichtung ermöglicht. Aus diesem Grund ist ein ECR-basiertes Beschichtungssystem für die vorliegende Anwendung zwingend erforderlich. Optionen Extended Warranty Spectral System Measurement range Accuracy - thin films 5-20 nm Accuracy - medium thickness 20-200 nm Optical constants Flip mechanism Cooling water