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FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Description
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
- Contracting authority
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Authority's seat
- Berlin · Berlin
- Place of performance
- Berlin
- Submission deadline
- —
- Published
- 13 September 2026
- Estimated value
- —
- Procedure
- —
- Portal
- oeffentlichevergabe.de · TED · vergabekooperation.berlin
CPV codes
42990000
Contract notice
The original notice on the contracting authority's portal.
Sourcehttps://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=9a80205f-f0b5-4b49-89a8-6cbb54e94cf4&lotId=LOT-0000Tender documents
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About the contracting authority
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik currently has 1 open tender.
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