High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W

High Temperature 200 mm Ion Implanter Optionen: 3.2.3 Ionenquelle Alternative Verfahren zur Implantation von Al mit anderen Methoden als der Verdampfung 5.7.2 Channeling-Implantation in SiC Messsystem zur Bestimmung der exakten Ausrichtung des SiC für die Channeling-Implantation 13.4 Wartungsvertrag Zweijähriger Wartungsvertrag mit zwei Optionen zur Verlängerung des Vertrags um jeweils ein Jahr.