Description
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2.
- Contracting authority
- Friedrich-Schiller-Universität Jena
- Authority's seat
- Thüringen · Jena
- Place of performance
- Thüringen · Jena
- Submission deadline
- —
- Published
- 13 July 2026
- Estimated value
- —
- Procedure
- open
- Portal
- oeffentlichevergabe.de
CPV codes
38000000
Contract notice
The original notice on the contracting authority's portal.
Sourcehttps://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=3cee3fd6-df42-49cb-881c-ae9ed023900f&lotId=LOT-0001No documents are linked for this tender.
About the contracting authority
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